一、潔淨(jìng)室它是懸浮粒子濃度受控，其建造和使用方式使得進入、產(chǎn)生、滯留於室內(nèi)的粒子*少的房間。室內(nèi)的其它參數(shù)包括：溫度、溫度、氣壓等，按需要受控。

二、風(fēng)機過濾單元層流應(yīng)用相關(guān)：

風(fēng)機過濾單元層流是將空氣以一定地風(fēng)速通過高效過濾器後，形成均流層，使?jié)崪Q(jìng)空氣呈垂直單向流，從而保證了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的高潔淨(jìng)度。風(fēng)機過濾單元運用主要運用於潔淨(jìng)室潔淨(jìng)度高等級行業(yè)，如LED電子、製藥、手術(shù)室、實驗室等。百級風(fēng)機過濾單元可模塊化連接使用， 百級風(fēng)機過濾單元是一種可提供局部潔淨(jìng)環(huán)境的空氣淨(jìng)化單元,可靈活地安裝在需要高潔淨(jìng)度的工藝點上方，潔淨(jìng)風(fēng)機過濾單元可以單個使用，也可多個組合成帶狀潔淨(jìng)區(qū)域。

三、風(fēng)機過濾單元層流特點：

A、靈活性。因為風(fēng)機過濾單元是自帶動力的，它不受區(qū)域的限製。在一個偌大的潔淨(jìng)廠房裡，可根據(jù)需要，分區(qū)控製。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，風(fēng)機過濾單元的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕鬆，而且不會帶來二次投資。

B、可再利用性。從理論上講，一時不用的風(fēng)機過濾單元設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

C、負壓通風(fēng)。這是風(fēng)機過濾單元的獨特特點。由於它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對於潔靜廠房負壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔淨(jìng)區(qū)裡，使得密封變得很簡單而且**。 第D、縮短建設(shè)周期。使用風(fēng)機過濾單元省掉了風(fēng)管的製作和安裝，因為風(fēng)管在潔淨(jìng)工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能儘快帶來收益，選用風(fēng)機過濾單元成為了一種可能。

E、減少運行成本。雖然在選用風(fēng)機過濾單元時，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在後期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。用大循環(huán)減少40%的運行成本。

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